放电离子化电流检测器

摘要

提供了一种能够大量供给等离子气体以使等离子稳定并同时降低试样稀释率以提高检测灵敏度的放电离子化电流检测器。用于供给还用作稀释气体的等离子气体的气体供给管(7)连接至位于具有用于生成等离子的电极(4～6)的第一气体通路(3)与具有用于检测离子的电极(16和17)的第二气体通路的连接部附近的位置处。第一气体排出管(8)连接至第一气体通路(3)的另一端，并且第二气体排出管(13)连接至第二气体通路(11)的另一端。在气体排出管(8和13)中分别设置流量控制器(9和14)。可以独立地调节通过等离子生成区域的气体的流量和通过离子电流检测区域的气体的流量。因此，例如，可以增大前者的流量以使等离子稳定，同时减小后者的流量以提高针对低浓度试样的检测灵敏度。

主权项

一种放电离子化电流检测器，其包括：第一气体通路，用于使等离子气体通过；等离子生成器，用于利用低频交流电场在所述第一气体通路中产生介质阻挡放电，以从所述等离子气体生成等离子；从所述第一气体通路连续延伸出的第二气体通路；以及电流检测器，用于在所述第二气体通路中检测由于试样气体中的试样成分通过所述等离子的作用而被离子化所产生的离子电流，所述放电离子化电流检测器还包括：a)等离子气体供给口和等离子气体排出口，用于使等离子气体通过所述第一气体通路，其中，所述等离子气体供给口被设置在所述第一气体通路中由所述等离子生成器生成等离子的等离子生成区域的一侧，并且所述等离子气体排出口被设置在所述第一气体通路中所述等离子生成区域的另一侧；b)试样气体注入器，用于将试样气体供给至所述第二气体通路中；c)稀释气体供给口和稀释气体排出口，用于在稀释所述试样气体之后使所述试样气体通过所述第二气体通路，其中，所述稀释气体供给口被设置在所述第二气体通路中由所述电流检测器检测离子电流的电流检测区域的一侧，并且所述稀释气体排出口被设置在所述第二气体通路中所述电流检测区域的另一侧；以及d)流量控制器；其中，在所述第一气体通路和所述第二气体通路的连接部处设置既用作所述等离子气体供给口又用作所述稀释气体供给口的公共口；以及所述流量控制器分别设置在所述等离子气体排出口和所述稀释气体排出口。