发明名称 基于幅材的化学浴沉积装置
摘要 所公开的是用于处理幅材的方法和系统。幅材(402)具有第一表面、与第一表面相对的第二表面,并且包括磁性材料。例示性系统包括处理床(202),其经配置以当幅材的第一表面经历一个或多个处理步骤时支撑幅材。系统也包括相对于处理床放置的磁体(300)以便在幅材上施加朝向处理床拉动幅材(403)的中心的磁力。系统进一步包括传送带(404),其经配置以使幅材在处理床(202)上移动。传送带(404)具有第一接触表面和与第一接触表面相对的第二接触表面。第一接触表面经配置以接触幅材的第二表面,并且第二接触表面经配置以接触处理床。
申请公布号 CN105829221A 申请公布日期 2016.08.03
申请号 CN201480067872.8 申请日期 2014.12.19
申请人 纽升股份有限公司 发明人 B·赫克特曼;P·克洛弗;D·赫拉斯;A·C·沃尔;R·泰勒;G·G·彭
分类号 B65H20/06(2006.01)I;C23C16/509(2006.01)I;C23C16/54(2006.01)I;H01L31/0392(2006.01)I;H01L31/20(2006.01)I 主分类号 B65H20/06(2006.01)I
代理机构 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 11280 代理人 徐舒
主权项 一种用于处理幅材的系统,其中所述幅材具有第一表面、与所述第一表面相对的第二表面,并且包含磁性材料,所述系统包含:处理床,其中所述处理床经配置以当所述幅材的所述第一表面经历一个或多个处理步骤时支撑所述幅材,并且其中所述处理床包括具有平坦表面的中心部分和具有弯曲表面的侧面部分;多个磁体,其中所述多个磁体相对于所述处理床放置以便在所述幅材上施加朝向所述处理床拉动所述幅材的磁力,并且其中所述磁力足以使所述幅材成形使得所述幅材基本上与所述处理床的所述平坦表面和弯曲表面相符;以及传送带,其经配置以当所述幅材由所述磁力成形以基本上与所述处理床的所述平坦表面和弯曲表面相符时使所述幅材在所述处理床上移动,其中所述传送带具有第一接触表面和与所述第一接触表面相对的第二接触表面。其中所述第一接触表面经配置以接触所述幅材的所述第二表面,并且其中所述第二接触表面经配置以接触所述处理床。
地址 美国加利福尼亚州