| 发明名称 | 基板支撑件和真空干燥设备 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种基板支撑件，所述基板支撑件包括：支撑台和支撑针；所述支撑针的底端固定在所述支撑台上，顶端为用于支撑基板的尖端结构。这种结构的基板支撑件的支撑针可以具有较小的高度，进而能够避免尖端显示不良现象，同时留出了机械手取基片的高度，操作方便。 | ||
| 申请公布号 | CN205428881U | 申请公布日期 | 2016.08.03 |
| 申请号 | CN201620226536.X | 申请日期 | 2016.03.21 |
| 申请人 | 合肥京东方光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 | 发明人 | 余忠兴;吴斌;孟祥明;李坤;李曼飞 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 李相雨 |
| 主权项 | 一种基板支撑件，其特征在于，所述基板支撑件包括：支撑台和支撑针；所述支撑针的底端固定在所述支撑台上，顶端为用于支撑基板的尖端结构。 | ||
| 地址 | 230012 安徽省合肥市新站区铜陵北路2177号 | ||