带压宽域动态配气灌装方法及装置

摘要

本发明提供一种带压宽域动态配气灌装方法及装置，方法为：SF₆气体与样气在质量流量控制器控制下进行混合，稀释样气浓度；稀释后的样气与SF₆气体由质量流量控制器控制下进行混合、稀释；第二次稀释后的样气与SF₆气体由质量流量控制器控制进行混合、稀释，最后充入标气瓶。装置为：SF₆气瓶依次经设有减压阀、第一质量流量控制器、电磁阀、第一静态混合器、第二质量流量控制器、第二静态混合器、第三质量流量控制器、第三静态混合器、缓冲罐、电磁比例调节阀和隔膜压力机的主气路接标气瓶，SF₆气瓶还经第四质量流量控制器接第二静态混合器输入端、经第五质量流量控制器接第三静态混合器输入端；样气气瓶均经第六质量流量控制器接第一静态混合器输入端。

主权项

一种带压宽域动态配气灌装方法，其特征在于采用以下步骤：1)同时打开样气气瓶和SF₆气瓶第一出气气路上的电磁阀，由各自气路上的质量流量控制器控制流量向第一个静态混合器输出气体，气体在静态混合器中混合，样气得到稀释，最低浓度为10000ppm；2)打开SF₆气瓶第二出气气路上的电磁阀，来自SF₆气瓶第二出气气路上的SF₆气体与第一次稀释后的样气分别经各自的质量流量控制器控制流量，向第二个静态混合器输出气体，第一次稀释后的样气在静态混合器中再次得到混合和稀释，样气最低浓度为100ppm；3)打开SF₆气瓶第三出气气路上的电磁阀，来自SF₆气瓶第三出气气路上的SF₆气体与第二次稀释后的样气分别经各自的质量流量控制器控制流量，向第三个静态混合器输出气体，第二次稀释后的样气在静态混合器中再次得到混合和稀释，至此第三次稀释后的样气最低浓度为1ppm；4)用真空泵对第三次稀释样气缓冲后的主气路及标气瓶抽真空，有效去除钢瓶内微量空气，然后将配制好的标气充入标气瓶中。