发明名称 灵敏放大器的版图及其形成方法、存储器的版图
摘要 一种灵敏放大器的版图及其形成方法、存储器的版图,所述灵敏放大器的版图形成方法包括:提供存储单元的版图,去掉所述存储单元的版图中的第二连接孔图形和第九连接孔图形;沿第二方向延伸所述第一金属图形至连接所述第二金属图形;沿第二方向延伸所述第八金属图形至连接所述第六金属图形。
申请公布号 CN105825879A 申请公布日期 2016.08.03
申请号 CN201510011857.8 申请日期 2015.01.09
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 陈双文;张静;丁艳
分类号 G11C7/06(2006.01)I;H01L27/02(2006.01)I 主分类号 G11C7/06(2006.01)I
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 代理人 吴敏;骆苏华
主权项 一种灵敏放大器的版图形成方法,其特征在于,包括:提供第一存储单元的版图,所述第一存储单元的版图包括:第一栅条图形、第二栅条图形、第三栅条图形、第四栅条图形、第一有源区图形、第二有源区图形、第三有源区图形、第四有源区图形、第一连接孔图形、第二连接孔图形、第三连接孔图形、第四连接孔图形、第五连接孔图形、第六连接孔图形、第七连接孔图形、第八连接孔图形、第九连接孔图形、第十连接孔图形、第十一连接孔图形、第十二连接孔图形、第十三连接孔图形、第十四连接孔图形、第一金属图形、第二金属图形、第三金属图形、第四金属图形、第五金属图形、第六金属图形、第七金属图形、第八金属图形、第九金属图形和第十金属图形;所述第一栅条图形和第三栅条图形沿第一方向依次间隔设置,所述第二栅条图形和第四栅条图形沿所述第一方向依次间隔设置;所述第一栅条图形和第二栅条图形沿第二方向依次间隔设置,所述第三栅条图形和第四栅条图形沿所述第二方向依次间隔设置;所述第一有源区图形、第二有源区图形、第三有源区图形和第四有源区图形沿所述第一方向依次间隔设置;所述第一有源区图形与所述第一栅条图形和第二栅条图形交叠,所述第一连接孔图形位于所述第一栅条图形第一侧的第一有源区图形内,所述第二连接孔图形位于所述第一栅条图形第二侧和第二栅条图形第一侧之间的第一有源区图形内,所述第三连接孔图形位于所述第二栅条图形第二侧的第一有源区图形内;所述第二有源区图形与所述第二栅条图形交叠,所述第四连接孔图形位于所述第二栅条图形第一侧的第二有源区图形内,所述第五连接孔图形位于所述第二栅条图形第二侧的第二有源区图形内;所述第三有源区图形与第三栅条图形交叠,所述第六连接孔图形位于所述第三栅条图形第一侧的第三有源区图形内,所述第七连接孔图形位于所述第三栅条图形第二侧的第三有源区图形内;所述第四有源区图形与第三栅条图形和第四栅条图形交叠,所述第八连接孔图形位于所述第三栅条图形第一侧的第四有源区图形内,所述第九连接孔图形位于所述第三栅条图形第二侧和第四栅条图形第一侧之间的第四有源区图形内,所述第十连接孔图形位于所述第四栅条图形第二侧的第四有源区图形内;第一栅条图形、第二栅条图形、第三栅条图形和第四栅条图形的第一侧和第二侧为在第二方向上相对的两侧;所述第十一连接孔图形位于所述第一有源区图形第二侧和第三有源区图形之间的第三栅条图形内,第十二连接孔图形位于所述第二有源区图形和第四有源区图形第一侧之间的第二栅条图形内,第十三连接孔图形位于第一有源区图形第一侧的第一栅条图形内,第十四连接孔图形位于第四有源区图形第二侧的第四栅条图形内;所述第一有源区图形和第四有源区图形的第一侧和第二侧为在第一方向上相对的两侧;所述第一金属图形覆盖所述第一连接孔图形,第二金属图形覆盖所述第二连接孔图形、第四连接孔图形和第十一连接孔图形,第三金属图形覆盖所述第三连接孔图形,第四金属图形覆盖所述第五连接孔图形,第五金属图形覆盖所述第六连接孔图形,第六金属图形覆盖所述第七连接孔图形、第九连接孔图形和第十二连接孔图形,第七金属图形覆盖所述第八连接孔图形,第八金属图形覆盖所述第十连接孔图形,第九金属图形覆盖所述第十三连接孔图形,第十金属图形覆盖所述第十四连接孔图形;去掉所述存储单元的版图中的第二连接孔图形和第九连接孔图形;沿第二方向延伸所述第一金属图形至连接所述第二金属图形;沿第二方向延伸所述第八金属图形至连接所述第六金属图形。
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