发明名称 |
存储器结构及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供了一种存储器结构。该存储器结构包括一绝缘层、一第一电极层以及一第一阻障层。绝缘层具有一凹室。第一电极层形成于凹室内,且第一电极层具有一第一上表面。第一阻障层形成于绝缘层与第一电极层之间,且第一阻障层具有一第二上表面。第二上表面低于第一上表面,且第一上表面与第二上表面皆低于凹室的一开口。 |
申请公布号 |
CN105826346A |
申请公布日期 |
2016.08.03 |
申请号 |
CN201510307194.4 |
申请日期 |
2015.06.05 |
申请人 |
旺宏电子股份有限公司 |
发明人 |
林昱佑;李峰旻;卢建宏;曾钦义 |
分类号 |
H01L27/24(2006.01)I;H01L45/00(2006.01)I;G11C13/00(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/24(2006.01)I |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 11021 |
代理人 |
曹玲柱 |
主权项 |
一种存储器结构,其特征在于,包括:一绝缘层,具有一凹室;一第一电极层,形成于该凹室内,且该第一电极层具有一第一上表面;以及一第一阻障层,形成于该绝缘层与该第一电极层之间,且该第一阻障层具有一第二上表面;其中该第二上表面低于该第一上表面,且该第一上表面与该第二上表面皆低于该凹室的一开口。 |
地址 |
中国台湾新竹科学工业园区力行路16号 |