压电薄膜元件、压电致动器、压电传感器、硬盘驱动器以及喷墨打印装置

摘要

本发明的目的在于，补偿构成压电薄膜元件的压电薄膜的氧缺陷并且进一步提高压电特性，以及进一步降低漏电流密度。本发明所涉及的压电薄膜元件，其特征在于，所述压电薄膜元件具备一对电极层和被所述一对电极层夹持的压电薄膜，所述一对电极层由Pt(铂)构成，至少在任意一个所述电极层中含有氧化物颗粒，所述氧化物颗粒是构成所述压电薄膜的至少任意一种元素的氧化物颗粒或者Pt的氧化物颗粒。

主权项

一种压电薄膜元件，其特征在于，所述压电薄膜元件具备一对电极层和被所述一对电极层夹持的压电薄膜，所述一对电极层由铂Pt构成，至少在任意一个所述电极层中含有氧化物颗粒，所述氧化物颗粒是构成所述压电薄膜的至少任意一种元素的氧化物颗粒或者Pt的氧化物颗粒。