发明名称 蒸镀设备的掩膜版
摘要 本实用新型提供的蒸镀设备的掩膜版,包括闭合的边框、多个框条、多个滚轮和转动机构,其中,多个框条间隔排列,以将边框分隔形成多个沉积区域,每个框条的两端中的至少一端与滚轮固定连接;转动机构设置在边框上,用以驱动各个滚轮转动,以使框条缠绕在滚轮上,直至达到所需的张力。本实用新型提供的蒸镀设备的掩膜版,其不仅可以提高框条的使用寿命、减少更换框条的次数,而且在更换框条时,不会损伤边框,且无需打磨边框,从而不仅可以延长边框的使用寿命,降低工艺成本,而且还可以提高工艺效率。
申请公布号 CN205420526U 申请公布日期 2016.08.03
申请号 CN201620207683.2 申请日期 2016.03.16
申请人 合肥鑫晟光电科技有限公司;京东方科技集团股份有限公司 发明人 胡长奇;邹清华;郭书鹏;卜斌
分类号 C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I 主分类号 C23C14/04(2006.01)I
代理机构 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 代理人 彭瑞欣;陈源
主权项 一种蒸镀设备的掩膜版,包括闭合的边框和多个框条,多个框条间隔排列,以将所述边框分隔形成多个沉积区域,其特征在于,还包括多个滚轮和转动机构,其中,每个框条的两端中的至少一端与所述滚轮固定连接;所述转动机构设置在所述边框上,用以驱动各个所述滚轮转动,以使所述框条缠绕在所述滚轮上,直至达到所需的张力。
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