发明名称 一种倾斜角调整装置
摘要 本发明提供一种倾斜角调整装置,该装置包括弹性部件、螺母座、传动杆和轴座,其中,该弹性部件包括弹性本体和三个形变端,其中第一形变端设置在弹性本体的上侧;第二形变端和第三形变端设置在弹性本体的下侧两端的位置上;第三形变端通过螺栓固定在该螺母座上,该螺母座具有内螺纹;该传动杆上端具有外螺纹,并通过该外螺纹与螺母座的内螺纹连接;该传动杆穿过该轴座,并在轴座的上下两端通过固定环将所述传动杆固定在该轴座中。所述倾斜角调整装置安装在工作台与机床之间,其中所述第一形变端固定在工作台上,所述第二形变端固定在机床上,所述轴座固定在机床上。本发明的倾斜角调整装置结构简单,安装使用方便,调整精度高,能够达到一微米以下。
申请公布号 CN103817576B 申请公布日期 2016.08.03
申请号 CN201210465468.9 申请日期 2012.11.16
申请人 有研半导体材料有限公司 发明人 葛钟;闫志瑞;库黎明;李青保
分类号 B24B19/22(2006.01)I;B24B55/00(2006.01)I 主分类号 B24B19/22(2006.01)I
代理机构 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 代理人 郭佩兰
主权项 一种倾斜角调整装置,其特征在于,该装置包括弹性部件、螺母座、传动杆和轴座,其中,该弹性部件包括弹性本体和三个形变端,其中第一形变端设置在弹性本体的上侧;第二形变端和第三形变端设置在弹性本体的下侧两端的位置上;第三形变端通过螺栓固定在该螺母座上,该螺母座具有内螺纹;该传动杆上端具有外螺纹,并通过该外螺纹与螺母座的内螺纹连接;该传动杆穿过该轴座,并在轴座的上下两端通过固定环将所述传动杆固定在该轴座中。
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