发明名称 |
一种倾斜角调整装置 |
摘要 |
本发明提供一种倾斜角调整装置,该装置包括弹性部件、螺母座、传动杆和轴座,其中,该弹性部件包括弹性本体和三个形变端,其中第一形变端设置在弹性本体的上侧;第二形变端和第三形变端设置在弹性本体的下侧两端的位置上;第三形变端通过螺栓固定在该螺母座上,该螺母座具有内螺纹;该传动杆上端具有外螺纹,并通过该外螺纹与螺母座的内螺纹连接;该传动杆穿过该轴座,并在轴座的上下两端通过固定环将所述传动杆固定在该轴座中。所述倾斜角调整装置安装在工作台与机床之间,其中所述第一形变端固定在工作台上,所述第二形变端固定在机床上,所述轴座固定在机床上。本发明的倾斜角调整装置结构简单,安装使用方便,调整精度高,能够达到一微米以下。 |
申请公布号 |
CN103817576B |
申请公布日期 |
2016.08.03 |
申请号 |
CN201210465468.9 |
申请日期 |
2012.11.16 |
申请人 |
有研半导体材料有限公司 |
发明人 |
葛钟;闫志瑞;库黎明;李青保 |
分类号 |
B24B19/22(2006.01)I;B24B55/00(2006.01)I |
主分类号 |
B24B19/22(2006.01)I |
代理机构 |
北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 |
代理人 |
郭佩兰 |
主权项 |
一种倾斜角调整装置,其特征在于,该装置包括弹性部件、螺母座、传动杆和轴座,其中,该弹性部件包括弹性本体和三个形变端,其中第一形变端设置在弹性本体的上侧;第二形变端和第三形变端设置在弹性本体的下侧两端的位置上;第三形变端通过螺栓固定在该螺母座上,该螺母座具有内螺纹;该传动杆上端具有外螺纹,并通过该外螺纹与螺母座的内螺纹连接;该传动杆穿过该轴座,并在轴座的上下两端通过固定环将所述传动杆固定在该轴座中。 |
地址 |
101300 北京市顺义区林河工业开发区双河路南侧 |