批量加热和冷却腔室或负载锁定装置

摘要

本发明公开了对多个晶片提供加热和冷却以减少在处理腔室中的晶片切换之间的时间的晶片和使用方法。晶片被支撑在能够使所有晶片一起移动的晶片升降装置上，或者被支撑在能够移动多个单独的晶片以进行加热和冷却的独立的升降杆上。

主权项

一种晶片盒，所述晶片盒包括：壁，所述壁支撑多个冷板，所述壁允许对所述冷板中的至少一些冷板的前侧进行接取；多个LED灯，所述多个LED灯抵靠所述冷板的背侧来定位，并且具有与相邻的冷板的前侧间隔开的前侧以形成间隙，所述多个LED灯被引导向所述相邻的冷板的前侧；以及晶片升降装置，所述晶片升降装置定位成支撑晶片的外围。