用于将结构引入或施加到衬底上的设备

摘要

本发明涉及一种用于将结构引入或施加到衬底（1）上的设备，其中该设备具有至少两个结构化模块（10，12，14，16，18，20），所述结构化模块分别具有至少一个结构化工具，其中相邻结构化模块（10，12，14，16，18，20）的结构化工具具有在要结构化的衬底（1）上的毗邻的或者重叠的工作区域（10a，12a，14a，16a，18a，20a）并且可以由至少第二结构化模块（10，12，14，16，18，20）无中断地继续地分别构造由结构化模块（10，12，14，16，18，20）产生的结构（2，4，6，8）。

主权项

用于利用用于衬底（1）的支架和利用至少一个结构化模块（10，12，14，16，18，20）通过材料去除或材料涂敷或者材料装入或者材料修改将结构（2，4，6，8）引入或施加到经涂层的或未经涂层的平面衬底（1）上的设备，其特征在于，在所述设备中设置至少两个结构化模块（10，12，14，16，18，20），所述结构化模块分别具有至少一个结构化工具，其中相邻结构化模块（10，12，14，16，18，20）的结构化工具具有在要结构化的衬底（1）上的毗邻的或者重叠的工作区域（10a，12a，14a，16a，18a，20a）并且可以由至少第二结构化模块（10，12，14，16，18，20）无中断地继续地分别构造由结构化模块（10，12，14，16，18，20）产生的结构（2，4，6，8），其中所述结构化模块（10，12，14，16，18，20）位置固定地布置在所述设备处，并且在各个结构化模块（10，12，14，16，18，20）内移动所述结构化工具。