可变电容传感器及其制造方法

摘要

本发明涉及一种可变电容传感器，所述可变电容传感器包括：第一导电电极，其包括电互连的第一导电片；第二导电电极，其包括电互连的第二导电片，其中所述第一导电片与所述第二导电片至少部分地交错，以及其中所述第二导电电极与所述第一导电电极电绝缘；以及微孔电介质材料，其至少部分地设置在所述第一导电片与所述第二导电片之间，并且接触所述第一导电片和所述第二导电片。本发明还公开了一种通过使用微孔材料替换陶瓷电容器中的陶瓷来制造可变电容传感器的方法。

主权项

一种可变电容传感器，所述可变电容传感器包括：第一导电电极，包括电互连的第一导电片；第二导电电极，包括电互连的第二导电片，其中所述第一导电片与所述第二导电片至少部分地交错，以及其中所述第二导电电极与所述第一导电电极电绝缘；陶瓷材料，所述陶瓷材料至少部分地设置在所述第一导电片与所述第二导电片之间，并且接触所述第一导电片和所述第二导电片；以及微孔电介质材料，至少部分地设置在所述第一导电片与所述第二导电片之间，并且接触所述第一导电片和所述第二导电片，其中所述微孔电介质材料和所述陶瓷材料以并排布置方式设置在所述第一导电电极和第二导电电极之间。