烷氧基氨基硅烷化合物及其应用

摘要

本文描述了具有式I的烷氧基氨基硅烷化合物以及用于沉积含硅薄膜的方法和组合物：(R¹R²)NSiR³OR⁴OR⁵ 式(I)其中R¹独立地选自直链或支链C₁‑C₁₀烷基、C₂‑C₁₂烯基、C₂‑C₁₂炔基、C₄‑C₁₀环烷基和C₆‑C₁₀芳基；R²和R³各自独立地选自氢、直链或支链C₁‑C₁₀烷基、C₃‑C₁₂烯基、C₃‑C₁₂炔基、C₄‑C₁₀环烷基和C₆‑C₁₀芳基；且R⁴和R⁵各自独立地选自直链或支链C₁‑C₁₀烷基、C₂‑C₁₂烯基、C₂‑C₁₂炔基、C₄‑C₁₀环烷基和C₆‑C₁₀芳基。

主权项

一种用于沉积含硅薄膜的烷氧基氨基硅烷，其具有通式(I)：(R¹R²)NSiR³OR⁴OR⁵     式(I)其中R¹独立地选自直链或支链C₁‑C₁₀烷基、C₂‑C₁₂烯基、C₂‑C₁₂炔基、C₄‑C₁₀环烷基和C₆‑C₁₀芳基；R²和R³各自独立地选自氢、直链或支链C₁‑C₁₀烷基、C₃‑C₁₂烯基、C₃‑C₁₂炔基、C₄‑C₁₀环烷基和C₆‑C₁₀芳基；且R⁴和R⁵各自独立地选自直链或支链C₁‑C₁₀烷基、C₂‑C₁₂烯基、C₂‑C₁₂炔基、C₄‑C₁₀环烷基和C₆‑C₁₀芳基，其中R¹和R²连接形成环或者R¹和R²不连接形成环，并且其中R⁴和R⁵连接形成环或者R⁴和R⁵不连接形成环，其中R¹选自叔丁基和叔戊基，且R⁴和R⁵包括选自乙基、正丙基、异丙基、正丁基、仲丁基、异丁基和叔丁基的C₁‑C₅烷基。