一种立式吊盖离子镀膜设备

摘要

本实用新型涉及镀膜设备领域，特别涉及一种立式吊盖离子镀膜设备，包括电磁加热盘，大口径不锈钢镜面管抽气管，所述电磁加热盘链接在扩散泵底部，所述相邻大口径不锈钢镜面管抽气管之间、所述大口径不锈钢镜面管抽气管与所述立式吊盖离子镀膜设备其他部分之间均采用法兰链接，两个相邻法兰之间用螺栓固定。本实用新型解决现有离子镀膜设备加工效率低、加工效果不好的问题，同时达到节能效果。

主权项

一种立式吊盖离子镀膜设备，其特征在于，包括电磁加热盘(1)和大口径不锈钢镜面管抽气管(2)，所述电磁加热盘(1)链接在扩散泵底部，相邻的所述大口径不锈钢镜面管抽气管(2)之间、所述大口径不锈钢镜面管抽气管(2)与所述立式吊盖离子镀膜设备其他部分之间均采用法兰(3)链接，两个相邻法兰(3)之间用螺栓固定。