发明名称 |
一种单晶炉用底加热器 |
摘要 |
本实用新型公开的一种单晶炉用底加热器,包括上下平行的两个加热板,上下两个加热板相连。本实用新型的一种单晶炉用底加热器解决了现有的单层结构的底加热器存在的能耗较大和热量利用率低的问题,其具有以下优点:1、发热面积大,熔料过程中原料充分受热,熔料能耗大大降低;2、发热面积大,热量充足,熔料时间短,缩短了石英坩埚与熔硅反应时间,降低了生长单晶硅氧含量;3、上层产生热量的散失路径被下层阻断,热量散失慢,大大提高了热量利用率;4、双层结构形成反射板,拉晶过程中熔硅或主加热器向下辐射的热量被反射回熔硅中,减少了热量损失,提高了热量利用率,大大降低了拉晶能耗。 |
申请公布号 |
CN205420602U |
申请公布日期 |
2016.08.03 |
申请号 |
CN201520883859.1 |
申请日期 |
2015.11.05 |
申请人 |
宁夏隆基硅材料有限公司 |
发明人 |
张鑫;白忠学;白喜军;李强;魏国锋;杨正华;王文华;涂准 |
分类号 |
C30B29/06(2006.01)I;C30B15/14(2006.01)I |
主分类号 |
C30B29/06(2006.01)I |
代理机构 |
西安弘理专利事务所 61214 |
代理人 |
罗笛 |
主权项 |
一种单晶炉用底加热器,其特征在于,包括上下平行设置的两个加热板(11),所述上下两个加热板(11)相连,所述加热板(11)由多个弧形的加热块(12)组成,所述加热块(12)由多条直径不同的加热丝相连构成。 |
地址 |
755100 宁夏回族自治区中卫市中宁县新堡镇团结南路 |