被加工物的加工方法及激光加工装置

摘要

本发明提供一种能量利用效率高且能够确实地形成分割起点的激光加工方法及装置。对被加工物的分割起点形成方法包括：出射步骤，将振荡器振荡的振荡脉冲光在放大器中利用CPA法放大，且使放大光从光源出射；及照射步骤，通过以与各单位脉冲光相应的被照射区域离散地形成在被加工面的方式对被加工物照射脉冲激光光束，而在被照射区域彼此之间发生被加工物的解理或裂开，由此，在被加工物上形成用于分割的起点；且在出射步骤中，通过调整从放大器提取脉冲激光光束的提取时序，而使一个单位脉冲光作为以比单位脉冲光的出射周期短的时间间隔延迟的两束脉冲光从光源出射，另一方面，在照射步骤中，使两束脉冲光实质上照射至同一被照射区域。

主权项

一种被加工物的加工方法，其特征在于：用来在被加工物上形成分割起点，且包括：出射步骤，将光源所包含的振荡器振荡的振荡脉冲光在包含在所述光源内的放大器中放大，且使作为放大光的脉冲激光光束从所述光源出射；及照射步骤，通过以与所述脉冲激光光束的各单位脉冲光相应的被照射区域离散地形成在所述被加工物的被加工面的方式对所述被加工物照射所述脉冲激光光束，而在所述被照射区域彼此之间发生所述被加工物的解理或裂开，由此，在所述被加工物上形成用于分割的起点；且在所述出射步骤中，通过调整从所述放大器提取所述脉冲激光光束的提取时序，而使一个所述单位脉冲光作为以比所述单位脉冲光的出射周期短的时间间隔延迟的两束脉冲光从所述光源出射，另一方面，在所述照射步骤中，使所述两束脉冲光实质上照射至同一所述被照射区域。