一种硅基异质结太阳能电池及其制备方法

摘要

本发明公开一种硅基异质结太阳能电池，依次包括栅电极、透明导电膜、硼掺杂非晶硅、本征非晶硅、N型单晶硅及背电极，背电极由分布布拉格反射器和铝薄膜构成，分布布拉格反射器是由掺铌二氧化钛薄膜与掺铝氧化锌薄膜间隔设置构成，铝薄膜设于分布布拉格反射器中最外层掺铝氧化锌薄膜的表层；采用两种折射率不同的透明导电膜构成分布布拉格反射器作为背电极，使得电池器件的串联电阻小，利于载流子的收集，进而电池的光电转换效率高；分布布拉格反射器与铝电极组合的背反射电极可以使具有特征波长的近红外部份的长波波段通过两层折射率差异的导电膜反射回晶体硅片内部被重新吸收，提高电池的电流和光电转换效率。

主权项

一种硅基异质结太阳能电池，依次包括栅电极、透明导电膜、硼掺杂非晶硅、本征非晶硅、N型单晶硅及背电极，其特征在于：所述背电极由分布布拉格反射器和铝薄膜构成，所述的分布布拉格反射器是由掺铌二氧化钛薄膜与掺铝氧化锌薄膜间隔设置构成，所述铝薄膜设于分布布拉格反射器中最外层掺铝氧化锌薄膜的表层；所述掺铌二氧化钛薄膜的厚度为80~100nm，折射率为2.6~2.8，电阻率为8×10^‑4欧姆.厘米；所述掺铝氧化锌薄膜的厚度为120~160nm，折射率为1.8~2.0，电阻率为4×10^‑4欧姆.厘米；所述铝薄膜的厚度为2~5微米。