剥离装置以及剥离方法

摘要

本发明涉及剥离装置以及剥离方法。沿着剥离进行方向即+Y方向配置多个吸附单元（51～54）。由最上游侧的第一吸附单元（51）吸附保持基板（SB）的端部来提起，并且通过使剥离辊（340）一边与基板（SB）抵接一边向剥离进行方向移动，来控制剥离的进行。在剥离辊（340）通过第二吸附单元（52）至第四吸附单元（54）的正下方位置时，使各吸附单元（52～54）下降来捕捉并提起剥离之后的基板，从而使发挥剥离主体的功能的吸附单元依次向下游侧转移。

主权项

一种剥离装置，用于使隔着薄膜或者图案相互紧贴的第一板状体和第二板状体剥离，其特征在于，具有：保持单元，其具有平面尺寸大于所述第一板状体的形成有所述薄膜或者图案的有效区域的平面尺寸的保持面，使所述第一板状体的面中的与所述第二板状体紧贴的面相反的一侧的面与所述保持面相抵接，来保持所述第一板状体，第一剥离单元，其一边保持所述第二板状体的一端部，一边向与所述保持单元分离的方向移动，从而使所述第二板状体的所述一端部与所述第一板状体剥离，抵接单元，在将沿着所述第二板状体从所述第二板状体的所述一端部朝向该一端部的相反的一侧的另一端部的方向定义为剥离进行方向时，该抵接单元形成为将与所述剥离进行方向相垂直的方向作为长度方向以及轴向的辊状，一边与所述第二板状体抵接，一边向所述剥离进行方向移动，第二剥离单元，具有与所述第二板状体的与所述第一板状体紧贴的面相反的一侧的一侧面局部抵接来保持所述第二板状体的功能，以能够接近所述保持单元以及与所述保持单元分离的方式移动；在与所述一端部向所述剥离进行方向下游侧相邻的抵接开始位置，所述抵接单元开始与所述第二板状体抵接并向所述剥离进行方向移动，在所述抵接单元通过之后，所述第二剥离单元与所述第二板状体的所述一侧面相抵接，来一边保持所述第二板状体，一边向与所述保持单元分离的方向移动。