晶圆夹持机构

摘要

本发明公开了一种晶圆夹持机构，晶圆夹持机构包括：转盘；多个卡爪，多个卡爪包括至少一个活动卡爪，活动卡爪活动地设置在转盘上，在至少一个活动卡爪处于夹持位置时活动卡爪夹持晶圆，至少一个活动卡爪处于非夹持位置时晶圆脱离至少一个活动卡爪；感应组件，感应组件包括第一感应件和第二感应件，第一感应件设置在至少一个活动卡爪上，第二感应件适于在活动卡爪位于夹持位置时感应第一感应件且发出信号。通过设置感应组件，可以通过第二感应件感应第一感应件的方式来判断活动卡爪的位置，从而可以判断晶圆是否处于转盘上，可以有效了解晶圆夹持机构上的晶圆状态，可以提升晶圆夹持机构夹持晶圆的安全性，可以有效保护晶圆。

主权项

一种晶圆夹持机构，其特征在于，包括：转盘；多个卡爪，所述多个卡爪包括至少一个活动卡爪，所述活动卡爪活动地设置在所述转盘上，在所述至少一个活动卡爪处于夹持位置时所述活动卡爪夹持所述晶圆，所述至少一个活动卡爪处于非夹持位置时所述晶圆脱离所述至少一个活动卡爪；感应组件，所述感应组件包括第一感应件和第二感应件，所述第一感应件设置在所述至少一个活动卡爪上，所述第二感应件适于在所述活动卡爪位于所述夹持位置时感应所述第一感应件且发出信号。