一种二维材料场效应晶体管及制备方法

摘要

本发明公开了一种二维材料场效应晶体管及制备方法，属于微电子技术领域。本发明的二维材料场效应晶体管自下而上依次有导电衬底、绝缘介质层、二维材料、金属电极。本发明的制备方法为机械划痕法，即先采用机械剥离法将二维材料转移到绝缘介质层上，然后将绝缘介质层和二维材料整体蒸镀上金属，在显微镜下仔细地操作针尖或刀刃，使其刚好贴住二维材料表面，然后缓慢地移动针尖或刀刃，使其划过二维材料的中部上方，以去除上面的金属，形成沟道。继续移动针尖或刀刃，划出两个金属电极，即源电极和漏电极。该二维材料场效应晶体管的制备方法具有操作简单、无需掩膜、工艺步骤少、制备时间短、效率高、成品率高等优点。

主权项

一种二维材料场效应晶体管，其特征在于，该二维材料场效应晶体管自下而上依次有导电衬底、绝缘介质层、二维材料、金属电极。