| 发明名称 | 电可编程熔丝结构及其形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种电可编程熔丝结构及其形成方法，其中电可编程熔丝结构包括：阳极；阴极；熔丝，所述熔丝包括与阳极连接的阳极连接端，以及与阴极连接的阴极连接端；所述熔丝位于阴极连接端的部分经过离子掺杂并具有压应力；所述熔丝位于阳极连接端的部分具有拉应力。电可编程熔丝结构的形成方法包括：形成阳极和阴极；形成一端连接阳极，且另一端连接阴极的熔丝，所述熔丝包括与阳极连接的阳极连接端，以及与阴极连接的阴极连接端；在所述熔丝的阳极连接端上形成拉应力区；对所述熔丝的阴极连接端进行掺杂，以在熔丝的阴极连接端形成压应力区。本发明的有益效果在于，降低电编程熔丝的编程功耗，同时缩短编程耗时。 | ||
| 申请公布号 | CN105826238A | 申请公布日期 | 2016.08.03 |
| 申请号 | CN201510006081.0 | 申请日期 | 2015.01.06 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 发明人 | 甘正浩 |
| 分类号 | H01L21/768(2006.01)I;H01L23/525(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/768(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 高静;骆苏华 |
| 主权项 | 一种电可编程熔丝结构的形成方法，其特征在于，包括：提供衬底，在所述衬底上形成阳极、阴极以及与阳极和阴极相连的熔丝，所述熔丝包括与阳极连接的阳极连接端，以及与阴极连接的阴极连接端；对所述阴极连接端进行离子掺杂，以在所述阴极连接端形成压应力区；在所述阳极连接端形成拉应力区。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江路18号 | ||