透明导电薄膜、透明导电薄膜的制造方法、以及使用透明导电薄膜而成的电子装置

摘要

本发明提供一种具有优异湿热特性的透明导电薄膜、透明导电薄膜的制造方法以及使用这样的透明导电薄膜而成的电子装置。其特征在于，是在树脂基材的至少一面上具备气体阻隔层以及通过溅射法而形成的氧化锌膜的透明导电薄膜等，氧化锌膜是包含氧化锌，同时掺杂镓及铟而成的氧化锌膜，并且，相对于通过XPS的元素分析测定的锌量、镓量、氧量及铟量的总量(100atom％)，将铟量定为0.01～25atom％范围内的值，并将镓量定为0.1～10atom％范围内的值，在将初始比电阻设为ρ₀，将在60℃、相对湿度95％的条件下保管500小时后的比电阻设为ρ₅₀₀时，将ρ₅₀₀/ρ₀所表示的比率定为1.5以下的值，进一步地，将氧化锌膜的膜厚定为20～300nm范围内的值。

主权项

一种透明导电薄膜，其特征在于，是在树脂基材的至少一面上具备气体阻隔层及通过溅射法而形成的氧化锌膜的透明导电薄膜，氧化锌膜是包含氧化锌，同时掺杂镓及铟而成的氧化锌膜，并且，相对于通过XPS的元素分析测定的锌量、镓量、氧量及铟量的总量(100atom％)，将铟量定为0.01～25atom％范围内的值，将镓量定为0.1～10atom％范围内的值，在将初始比电阻设为ρ₀，将在60℃、相对湿度95％的条件下保管500小时后的比电阻设为ρ₅₀₀时，将ρ₅₀₀/ρ₀所表示的比率定为1.5以下的值，进一步地，将氧化锌膜的膜厚定为20～300nm范围内的值。