一种多晶硅铸锭制作方法

摘要

一种多晶硅铸锭制作方法，包括以下步骤：先进的多晶硅定向凝固技术；优质的炉膛材质和高气密封性炉腔,为多晶硅生长提供优良条件；隔热笼同步提升技术，保证垂直方向温度梯度和固液界面水平；方便形成垂直温度梯度的热场设计，实现晶体快速生长；独特生长期维持副泵设计，大大降低真空系统能耗，延长主泵寿命，减少使用维护成本；采用固化碳毡错位设计，减少热损耗，节能；隔热笼运动机构采用进口驱动器+伺服电机+进口滚珠丝杆副，控制精度高，运行平稳可靠下炉盖运动机构采用直流电机控制、稳定性好，并配有丢步检测保护装置；工艺过程计算机全自动智能化控制，图形化显示，独有断偶等&l dquo；经验&rdquo；处理程序，提高铸锭成功率。

主权项

一种多晶硅铸锭制作方法，其特征在于，包括以下步骤：先进的多晶硅定向凝固技术；优质的炉膛材质和高气密封性炉腔,为多晶硅生长提供优良条件；隔热笼同步提升技术，保证垂直方向温度梯度和固液界面水平；方便形成垂直温度梯度的热场设计，实现晶体快速生长；独特生长期维持副泵设计，大大降低真空系统能耗，延长主泵寿命，减少使用维护成本；采用固化碳毡错位设计，减少热损耗，节能；隔热笼运动机构采用进口驱动器+伺服电机+进口滚珠丝杆副，控制精度高，运行平稳可靠下炉盖运动机构采用直流电机控制、稳定性好，并配有丢步检测保护装置；工艺过程计算机全自动智能化控制，图形化显示，独有断偶等&ldquo；经验&rdquo；处理程序，提高铸锭成功率；可靠的安全性能：高于国际行业标准的安全性防护设计，采用四重防硅液泄漏安全防护技术，确保防止意外的发生；UPS电源，软件、硬件多重安全保护，故障报警和安全联锁,设备可靠性高；整机模块化、标准化设计，安装快捷，设备拓展方便，可维修性好；快捷方便的本土技术服务，充足的零备件供应。