测量光阻膜厚的方法

摘要

本发明提供一种测量光阻膜厚的方法，所述方法包括：A)随着探针沿基板上各颜色光阻的涂布方向的划动，感测探针划过的每个位置的光阻的膜厚；B)识别探针划过的每个位置的光阻的颜色；C)输出以识别的光阻的颜色来表示对应光阻的膜厚的膜厚曲线；D)根据所述膜厚曲线确定各颜色光阻的膜厚。在根据本发明示例性实施例的测量光阻膜厚的方法中，通过将膜厚曲线中各种颜色的光阻的膜厚曲线段表示为各自的颜色，显示膜厚曲线时同步显示光阻的颜色，方便测量人员直接辨别各段光阻的颜色，可提高薄膜测量仪的手动测量以及设置菜单时的准确性和效率。

主权项

一种测量光阻膜厚的方法，其特征在于，包括：A、随着探针沿基板上各颜色光阻的涂布方向的划动，感测探针划过的每个位置的光阻的膜厚；B、识别探针划过的每个位置的光阻的颜色；C、输出以识别的光阻的颜色来表示对应光阻的膜厚的膜厚曲线；D、根据所述膜厚曲线确定各颜色光阻的膜厚。