| 发明名称 | 一种线阵相机姿态标定装置和方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开一种线阵相机姿态标定装置，包括：一光源，用于提供光束照射标记板；一对准标记，所述对准标记位于所述标记板表面，所述对准标记至少为2个；一线阵相机，所述线阵相机根据光照所述对准标记的成像，确定所述线阵相机相对于所述标记板的安装偏差，其特征在于，所述对准标记的几何外形的横向尺寸X与纵向尺寸Y具有唯一线性关系。 | ||
| 申请公布号 | CN105809652A | 申请公布日期 | 2016.07.27 |
| 申请号 | CN201410828168.1 | 申请日期 | 2014.12.29 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 戴乐薇;张鹏黎;杨晓青 |
| 分类号 | G06T7/00(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I;H01L21/66(2006.01)I | 主分类号 | G06T7/00(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅 |
| 主权项 | 一种线阵相机姿态标定装置，其特征在于，包括：一光源，用于提供光束照射标记板；一对准标记，所述对准标记位于所述标记板表面，所述对准标记至少为2个；一线阵相机，所述线阵相机根据光照所述对准标记的成像，确定所述线阵相机相对于所述标记板的安装偏差，所述对准标记的几何外形的横向尺寸X与纵向尺寸Y具有唯一线性关系。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张江高科技园区张东路1525号 | ||