| 发明名称 | 掩膜板及其制作方法 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种掩膜板及其制作方法。其中，该掩膜板用于对显示基板进行蒸镀，包括：图案部，对应于显示基板的显示区域；应力缓冲部，对应于显示基板的至少部分非显示区域；所述应力缓冲部的一侧设置有多个第一凹槽，所述应力缓冲部的另一侧设置有多个第二凹槽，所述第一凹槽在所述掩膜板所在平面上的第一投影与所述第二凹槽在所述掩膜板所在平面上的第二投影不相交。通过本发明，保证了掩膜板在蒸镀过程中的质量，从而达到了提高AMOLED的产品品质的效果。 | ||
| 申请公布号 | CN105803389A | 申请公布日期 | 2016.07.27 |
| 申请号 | CN201610330444.0 | 申请日期 | 2016.05.18 |
| 申请人 | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 | 发明人 | 嵇凤丽;梁逸南;白珊珊 |
| 分类号 | C23C14/04(2006.01)I;C23C14/24(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 许静;黄灿 |
| 主权项 | 一种掩膜板，用于对显示基板进行蒸镀，其特征在于，包括：图案部，对应于显示基板的显示区域；应力缓冲部，对应于显示基板的至少部分非显示区域；所述应力缓冲部的一侧设置有多个第一凹槽，所述应力缓冲部的另一侧设置有多个第二凹槽，所述第一凹槽在所述掩膜板所在平面上的第一投影与所述第二凹槽在所述掩膜板所在平面上的第二投影不相交。 | ||
| 地址 | 100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号 | ||