轨道式闸微阀装置

摘要

本发明公开了一种轨道式闸微阀装置，由上下两层硅片键合而成，第一层硅片底部设有凹槽，第二层硅片上有流体入口、流体出口和控制端口，所述流体入口、流体出口和控制端口均上下贯穿第二层硅片，在第一层硅片的底部凹槽内设有微阀轨道、移动构件和致动梁，所述移动构件设置于微阀轨道上方，所述致动梁一端连接底部凹槽的侧壁，另一端连接在移动构件上，所述致动梁上连接有双金属热致动器，所述移动构件上设有闸门，通过致动梁驱动移动构件沿微阀轨道运动来控制闸门启闭流体入口和流体出口。本发明避免了大质量块闸门的必要性，为更为丰富的闸微阀结构设计提供了可能。

主权项

轨道式闸微型阀装置，由上下两层硅片键合而成，其特征在于：第一层硅片底部设有凹槽，第二层硅片上设有流体入口、流体出口和控制端口，所述流体入口、流体出口和控制端口均上下贯穿第二层硅片，在第一层硅片与第二层硅片键合后，所述第一层硅片的底部凹槽、流体入口、流体出口、控制端口以及第一层硅片的下表面和第二层硅片的上表面一起构成供流体流动的流体腔室，在第一层硅片的底部凹槽内设有微阀轨道、移动构件和致动梁，所述移动构件设置于微阀轨道上方，所述致动梁一端连接底部凹槽的侧壁，另一端连接在移动构件上，所述致动梁上连接有双金属热致动器，所述移动构件上设有闸门，通过致动梁驱动移动构件沿微阀轨道运动来控制闸门启闭流体入口和流体出口。