静电传感器

摘要

本发明涉及一种静电传感器，包括一个传感单元和一个控制单元，所述传感单元包括至少一个第一传感元件，以及至少两个第一电极设置在该至少一个第一传感元件的两端并与该至少一个第一传感元件电连接，所述至少一第一传感元件为直径小于100纳米的一维半导体纳米结构，当带有静电的物体靠近该第一传感元件时，该第一传感元件的电阻产生变化；该控制单通过导线于所述至少一个第一传感元件电连接，并通过向所述至少一个第一传感元件施加电压后测量该至少一个第一传感元件的电阻并输出电阻的信号。

主权项

一种静电传感器，包括一个传感单元和一个控制单元，其特征在于：所述传感单元包括至少一个第一传感元件，以及至少两个第一电极设置在该至少一个第一传感元件的两端并与该至少一个第一传感元件电连接，所述至少一第一传感元件为一根直径小于100纳米的一维半导体纳米结构，当带有静电的物体靠近该至少一个第一传感元件时，该至少一个第一传感元件的电阻产生变化；该控制单元通过导线与所述至少一个第一传感元件电连接，该控制单元向所述至少一个第一传感元件施加电压，并测量由于带有静电的物体靠近所导致的该至少一个第一传感元件的电阻变化。