发明名称 |
一种基于高数值孔径的折反射式投影物镜 |
摘要 |
本发明公开了一种基于高数值孔径的折反射式投影物镜,用于将掩模上的图案成像到像平面上,包括第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组,第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组同光轴,第一透镜的光焦度为正,第二透镜组、第三透镜组的光焦度均为负,第一透镜组包括至少一对相对的凹面反射面,所述相对的凹面反射面之间设有至少两个负弯月透镜。本发明在第一透镜组相对的凹面反射面之间设负弯月透镜,通过负弯月透镜产生的负光焦度补偿凹面反射面产生的正光焦度,有效校正一次成像时的场曲和色差,对第二透镜组的光线入射角度起到很好的约束作用,降低了镜片的最大口径,减少了非球面的数量,降低了光学系统的制造、加工成本和光学元件的检测难度。 |
申请公布号 |
CN105807410A |
申请公布日期 |
2016.07.27 |
申请号 |
CN201410851438.0 |
申请日期 |
2014.12.31 |
申请人 |
上海微电子装备有限公司 |
发明人 |
刘雅丽 |
分类号 |
G02B13/18(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I |
主分类号 |
G02B13/18(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
屈蘅;李时云 |
主权项 |
一种基于高数值孔径的折反射式投影物镜,用于将掩模上的图案成像到像平面上,其特征在于:包括第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组,所述第一透镜组、第二透镜组和第三透镜组同光轴,第一透镜的光焦度为正,第二透镜组、第三透镜组的光焦度均为负,所述第一透镜组包括至少一对相对的凹面反射面,所述相对的凹面反射面之间设有至少两个负弯月透镜。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张东路1525号 |