发明名称 |
堆叠器件以及相关的布局结构 |
摘要 |
本发明描述了堆叠器件和通过堆叠器件形成的电路。根据一些实施例,半导体柱从衬底垂直延伸。第一源极/漏极区域在半导体柱中。第一栅电极层横向环绕半导体柱并且垂直位于第一源极/漏极区域上方。第一栅极介电层夹置在第一栅电极层和半导体柱之间。第二源极/漏极区域在半导体柱中并且垂直位于第一栅电极层上方。第二源极/漏极区域连接至电源节点。第二栅电极层横向环绕半导体柱并且垂直位于第二源极/漏极区域上方。第二栅极介电层夹置在第二栅电极层和半导体柱之间。第三源极/漏极区域在半导体柱中并且垂直位于第二栅电极层上方。 |
申请公布号 |
CN105810681A |
申请公布日期 |
2016.07.27 |
申请号 |
CN201610018400.4 |
申请日期 |
2016.01.12 |
申请人 |
台湾积体电路制造股份有限公司 |
发明人 |
郭大鵬;卡洛斯·H·迪亚兹;王志豪;让-皮埃尔·科林格 |
分类号 |
H01L27/092(2006.01)I;H01L27/12(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L29/08(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/092(2006.01)I |
代理机构 |
北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 |
代理人 |
章社杲;李伟 |
主权项 |
一种结构,包括:第一半导体柱,从衬底处垂直延伸;第一源极/漏极区域,位于所述第一半导体柱中;第一栅电极层,横向环绕所述第一半导体柱并且垂直位于所述第一源极/漏极区域上方,第一栅极介电层夹置在所述第一栅电极层和所述第一半导体柱之间;第二源极/漏极区域,位于所述第一半导体柱中并且垂直位于所述第一栅电极层上方,所述第二源极/漏极区域连接至电源节点;第二栅电极层,横向环绕所述第一半导体柱并且垂直位于所述第二源极/漏极区域上方,第二栅极介电层夹置在所述第二栅电极层和所述第一半导体柱之间;以及第三源极/漏极区域,位于所述第一半导体柱中并且垂直位于所述第二栅电极层上方。 |
地址 |
中国台湾新竹 |