一种微聚焦X射线源动态焦点控制方法

摘要

本发明公开了一种微聚焦X射线源动态焦点控制方法，该方法通过检测装置对X射线焦点进行实时监测，根据监测数据决定是否需要重设焦点尺寸，当焦点大于6μm时，ARM下位机查找内建的焦点与输出功率对应关系表得到相应的管电压和管电流参数，并将其发送至高频高压发生器，高频高压发生器根据接收到的数据调节管电压、电流从而实现调焦，最终达到焦点的动态范围稳定于2-6μm目的，突破封闭式微聚焦X射线难以突破5μm以下的难题。本发明能控制X射线焦点稳定于6μm以下，特别适用于要求高分辨率X光图的精密检测系统。

主权项

一种微聚焦X射线源动态焦点控制方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)焦点检测装置实时监测焦点尺寸，根据监测数据决定是否需要重设焦点尺寸；(2)若焦点尺寸小于6μm，不作任何处理，否则转至步骤(3)；(3)焦点尺寸大于6μm时，PC上位机会发出调节X射线源焦点至6μm以下的指令给ARM下位机，ARM下位机接收指令后，查找内建的焦点与输出功率对应关系表得到调焦所需输出功率参数值以及对应的管电压、电流值，再将电压、电流值发送至高频高压发生器；(4)高频高压发生器根据接收数据调整X射线管功率至指定值，使焦点尺寸至6μm以下；在步骤(1)中，所述焦点检测装置获取当前焦点尺寸，并发送给ARM下位机，ARM下位机通过数据传输通道使之显示于PC上位机界面，进而实现实时焦点监测；所述焦点检测装置是通过测量图像几何不清晰度间接测量焦点尺寸，包括以下设备：测试物、射线成像装置、图像处理设备；所述测试物采用金属十字丝，其交叉角度为90°±3°，所述金属十字丝应在固定架上穿过圆形的孔固定好，穿过点位于孔的中心位置，所述固定架要使测试物非常接近X射线管的窗口，所述图像处理设备要能够在相互正交的方向上制造X光图像线性增强轮廓，并且能够测量距离。