单晶制造装置

摘要

本发明提供一种单晶制造装置，防止腔室的热应变传递给籽晶支承轴及坩埚支承轴，并使单晶的品质提高。单晶制造装置具有：腔室，所述腔室收纳坩埚和加热器，并连结加热器的至少一部分；应变缓冲支承部件，所述应变缓冲支承部件在沿垂直方向支承腔室的同时在水平方向上能够位移地与腔室连结；以及基体部件，所述基体部件直接连结坩埚支承轴及籽晶支承轴，并经由所述应变缓冲支承部件连结腔室，基体部件的刚性比应变缓冲支承部件的刚性大，腔室具有贯通孔，坩埚支承轴与籽晶支承轴插通于贯通孔，并且坩埚支承轴与贯通孔之间的间隙以及籽晶支承轴与贯通孔之间的间隙由密闭部件密封。

主权项

一种单晶制造装置，其特征在于，具有：坩埚；包围所述坩埚的周围的加热器；与所述坩埚的底部连结的坩埚支承轴；与所述坩埚相向的籽晶支承轴；腔室，所述腔室收纳所述坩埚和所述加热器，并连结所述加热器的至少一部分；应变缓冲支承部件，所述应变缓冲支承部件在沿垂直方向支承所述腔室的同时在水平方向上能够位移地与所述腔室连结；以及基体部件，所述基体部件直接连结所述坩埚支承轴及所述籽晶支承轴，并经由所述应变缓冲支承部件连结所述腔室，所述基体部件的刚性比所述应变缓冲支承部件的刚性大，所述腔室具有贯通孔，所述坩埚支承轴和所述籽晶支承轴插通于所述贯通孔，并且，所述坩埚支承轴与所述贯通孔之间的间隙以及所述籽晶支承轴与所述贯通孔之间的间隙由密闭部件密封。