| 摘要 |
유로 블록(20) 내에 마련되는 오목부(22)와, 오목부(22)를 덮는 것에 의해 유체가 흐르는 밸브실(21)을 형성하는 다이어프램과, 오목부(22)로 개구되고 또한 밸브실(21)로 유체를 유입시키는 유입 포트(23)와, 오목부(22)로 개구되고 또한 밸브실(21)로부터 유체를 유출시키는 NC 유출 포트(24) 및 NO 유출 포트(25)와, 다이어프램을 요동시켜, 다이어프램을, NC 유출 포트(24)의 개구(24a)가 이루는 제1 밸브 시트(24b) 및 NO 유출 포트(25)의 개구(25a)가 이루는 제2 밸브 시트(25b) 중의 어느 것에 밀착시킴으로써, 밸브실(21)의 유체를 다른쪽 유출 포트로부터 유출시킨다. 오목부(22)는, 제1 밸브 시트(24b) 및 제2 밸브 시트(25b)로부터, 유입 포트(23)의 유입 개구(23a)로 갈수록 깊이가 점차 증가하는 제1 경사부(81) 및 제2 경사부(82)를 갖는다. |
