基于级联耦合微腔的温度/折射率双参数传感器

摘要

本实用新型公开了一种基于级联耦合微腔的温度/折射率双参数传感器，包括宽带光源、总线波导、第一耦合微腔、第二耦合微腔和光探测器；且宽带光源、总线波导、第一耦合微腔、第二耦合微腔和光探测器自左向右依次耦合连接，第一耦合微腔、第二耦合微腔设置在总线波导的同一侧，且通过倏逝场效应分别与总线波导相耦合。本实用新型中的第一耦合微腔、第二耦合微腔具有不同的谐振波长和不同的光场能量分布比例，第一耦合微腔具有相对更高的折射率响应灵敏度；第二耦合微腔具有相对更高的温度响应灵敏度，利用两个微腔在折射率响应灵敏度和温度响应灵敏度上的显著差异，便能实现在一次测量中同时获得折射率、温度信息。

主权项

基于级联耦合微腔的温度/折射率双参数传感器，其特征在于包括宽带光源、总线波导、第一耦合微腔、第二耦合微腔和光探测器；且宽带光源、总线波导、第一耦合微腔、第二耦合微腔和光探测器自左向右依次耦合连接，第一耦合微腔、第二耦合微腔设置在总线波导的同一侧，且通过倏逝场效应分别与总线波导相耦合。