测量空间距离变化的激光干涉仪

摘要

本发明公开了一种测量空间距离变化的激光干涉仪，包括激光发生器，所述激光发生器发出的光信号首先通过法拉第隔离器，通过所述法拉第隔离器的光信号依次通过第一、第二电光相位调制器，通过所述电光相位调制器的光信号进入模式过滤器，通过所述模式过滤器的光信号进入分光镜组，所述分光镜组将光信号分成若干束，其中一束光信号传输至激光谐振腔，其他光信号经过光电转换后的电信号分别传输至数据采集系统和激光发生器，在激光谐振腔经过谐振的光信号经过光电转换后的电信号传输至所述数据采集系统。

主权项

测量空间距离变化的激光干涉仪，包括激光发生器，所述激光发生器发出的光信号首先通过法拉第隔离器，其特征在于，通过所述法拉第隔离器的光信号依次通过第一、第二电光相位调制器，通过所述电光相位调制器的光信号进入模式过滤器，通过所述模式过滤器的光信号进入分光镜组，所述分光镜组将光信号分成若干束，其中一束光信号传输至激光谐振腔，其他光信号经过光电转换后的电信号分别传输至数据采集系统和激光发生器，在激光谐振腔经过谐振的光信号经过光电转换后的电信号传输至所述数据采集系统。