一种分子泵机组预抽真空及分子泵检漏仪集成系统

摘要

本实用新型公开了一种分子泵机组预抽真空及分子泵检漏仪集成系统，包括真空室，真空室通过管道连接产品真空阀，产品真空阀通过管道连接高真空挡板阀，高真空挡板阀通过管道连接高真空电磁，高真空电磁通过管道连接分子泵，分子泵通过管道连接手动挡板阀，手动挡板阀通过管道连接电磁充气阀，电磁充气阀连接前级旋片泵，分子泵与所述手动挡板阀之间的管道通过管道连接检漏阀，检漏阀通过管道连接检漏仪；分子泵与手动挡板阀之间的管道通过管道连接旁路预抽挡板阀，旁路预抽挡板阀通过管道连接高真空挡板阀与高真空电磁阀之间的管道。本实用新型解决了低温压力容器在制造过程中的抽空检漏反应时间过长及夹层抽高真空过程中的能源消耗和工时浪费的问题。

主权项

一种分子泵机组预抽真空及分子泵检漏仪集成系统，其特征在于：包括真空室，所述真空室通过管道连接产品真空阀，所述产品真空阀通过管道连接高真空挡板阀，所述高真空挡板阀通过管道连接高真空电磁，所述高真空电磁通过管道连接分子泵，所述分子泵通过管道连接手动挡板阀，所述手动挡板阀通过管道连接电磁充气阀，所述电磁充气阀连接前级旋片泵，所述分子泵与所述手动挡板阀之间的管道通过管道连接检漏阀，所述检漏阀通过管道连接检漏仪；所述分子泵与所述手动挡板阀之间的管道通过管道连接旁路预抽挡板阀，所述旁路预抽挡板阀通过管道连接所述高真空挡板阀与所述高真空电磁阀之间的管道。