发明名称 一种少层三氧化钼二维原子晶体的制备方法
摘要 本发明属于纳米材料技术领域,公开了一种少层三氧化钼二维原子晶体的制备方法。该方法包括以下具体步骤:(1)将衬底放入溶剂中超声清洗;(2)取三氧化钼粉末放入干净的陶瓷舟中,陶瓷舟放入管式炉的中间位置,同时将步骤(1)中得到的衬底放入沉积温度为500~700℃的区域;(3)对管式炉进行升温,待达到升华温度后,保温沉积,得少层三氧化钼二维原子晶体。本发明利用物理气相沉积的方法制备三氧化钼二维原子晶体,该方法无需任何催化剂、不需要任何载气,并且有着低成本、制备工艺简单、制备流程无毒、快速高效的优点,而且对外界环境要求不高,可以获得大尺寸、层数可控的三氧化钼二维原子晶体。
申请公布号 CN105789030A 申请公布日期 2016.07.20
申请号 CN201610144011.6 申请日期 2016.03.14
申请人 暨南大学 发明人 谢伟广;王雨
分类号 H01L21/02(2006.01)I 主分类号 H01L21/02(2006.01)I
代理机构 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人 裘晖;陈燕娴
主权项 一种少层三氧化钼二维原子晶体的制备方法,其特征在于包括以下具体步骤:(1)将衬底放入溶剂中超声清洗;(2)取三氧化钼粉末放入干净的陶瓷舟中,陶瓷舟放入管式炉的中间位置,同时将步骤(1)中得到的衬底放入沉积温度为500~700℃的区域;(3)对管式炉进行升温,待达到升华温度后,保温沉积,得少层三氧化钼二维原子晶体。
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