发明名称 一种基于离子束技术在飞机叶片上沉积超硬超厚DLC膜层的方法及设备
摘要 本发明公开了一种基于离子束技术的发动机叶片表面结合力优越以及抗沙尘侵蚀能力强的超厚超硬类金刚石(DLC)膜层的方法及设备,其中,制备该DLC膜方法包括:采用金属真空蒸汽离子源方法(MEVVA),在叶片表面注入一层能提高膜基结合力的金属″钉扎层″;在所述的金属″钉扎层″之上,采用90度磁过滤阴极真空弧沉积方法(FCVA)沉积得到用于释放内应力的第一层金属薄膜过渡层;在所述的第一层过渡层之上,采用180度磁过滤阴极真空弧(FCVA)沉积方法沉积得到第二层软DLC层;在所述的第二层软层之上改变负压180度磁过滤沉积得到超硬DLC膜层直至膜总厚度为10‑25微米。通过实施本发明,在发动机叶片上沉积DLC膜能够很好的保护发动机叶片,防止其因沙尘的侵蚀而损坏。
申请公布号 CN105779941A 申请公布日期 2016.07.20
申请号 CN201510967504.5 申请日期 2015.12.23
申请人 北京师范大学 发明人 廖斌;何卫峰;罗军;张旭;吴先映;王宇东;候庆燕
分类号 C23C14/22(2006.01)I;C23C14/48(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I 主分类号 C23C14/22(2006.01)I
代理机构 代理人
主权项 一种基于离子束技术在飞机叶片上沉积超硬超厚DLC膜的方法,其特征包括:(a)采用金属真空蒸汽离子源(MEVVA)注入方法,在叶片基底表面注入金属元素,形成金属″钉扎层″;(b)在所述金属″钉扎层″之上,采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)方法,沉积得到第一层用于释放内应力的薄膜金属/金属氧化物过渡层;(c)、在所述第一层过渡层之上,采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)方法,沉积得到第二层软DLC膜;(d)在所述第二层之上,采用磁过滤阴极真空弧(FCVA)方法,沉积得到第三层超硬DLC膜层,沉积得到厚度范围在10‑25μm。
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