| 发明名称 | 一种PVDF超声换能器电极的制作方法及PVDF超声换能器 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种PVDF超声换能器电极的制作方法及PVDF超声换能器，所述PVDF超声换能器电极的制作方法，包括：获取电极的图案；将所述图案覆盖在PVDF导电薄膜上，所述PVDF导电薄膜的上下表面的电极为铝电极，且其上表面涂有感光材料；对覆盖了图案的PVDF导电薄膜进行曝光、显影、蚀刻及脱模处理，得到带有所需电极图案的PVDF压电薄膜。相对于现有的复杂电极PVDF超声换能器制作方法，基于上述方法制作的PVDF超声换能器有更高的灵敏度，且有工艺简单、价格低等优点。 | ||
| 申请公布号 | CN105772380A | 申请公布日期 | 2016.07.20 |
| 申请号 | CN201610207534.0 | 申请日期 | 2016.04.05 |
| 申请人 | 湖南大学 | 发明人 | 王波;彭宽;肖嘉莹;朱自强 |
| 分类号 | B06B1/06(2006.01)I;B06B3/04(2006.01)I;H01L41/047(2006.01)I | 主分类号 | B06B1/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 李相雨 |
| 主权项 | 一种PVDF超声换能器电极的制作方法，其特征在于，包括：获取超声换能器电极的图案；将所述图案覆盖在PVDF导电薄膜上，所述PVDF导电薄膜的上下表面的电极为铝电极，且其上表面涂有感光材料；对覆盖了图案的PVDF导电薄膜进行曝光、显影、蚀刻及脱模处理，得到超声换能器电极。 | ||
| 地址 | 410082 湖南省长沙市麓山区岳麓山南路麓山门 | ||