一种用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源

摘要

本发明涉及一种用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源。本发明属于太阳电池技术领域。一种用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源，其特点是：用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源的炉体电阻丝采用分区加热方式，分为底部加热器、侧边加热丝和顶部加热单元；底部加热器的加热丝盘绕于底部均匀的线槽内，侧边加热丝均布在炉体外侧的走线槽内，侧边加热丝外包覆保温层，顶部加热器单元置入下绝缘盖板上方，顶部加热器单元上放置上绝缘盖板。本发明具有温度控制精确，蒸发量稳定，提升了物料分子的活性，提高了物料的反应活性，工艺灵活性强，可随时调整物料沉积效果，实现稳定地在工业化生产中获得连续线性沉积效果等优点。

主权项

一种用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源，其特征是：用于制备CIGS太阳电池的线性蒸发源的炉体电阻丝采用分区加热方式，分为底部加热器、侧边加热丝和顶部加热单元；底部加热器的加热丝盘绕于底部均匀的线槽内，侧边加热丝均布在炉体外侧的走线槽内，侧边加热丝外包覆保温层，顶部加热器单元置入下绝缘盖板上方，顶部加热器单元上放置上绝缘盖板。