具有底盘的净化室-运输容器

摘要

对于净化室设备来说，将运输容器（1）与底盘（6）连接成尤其是在所述底盘方面非常简单的结构单元，该结构单元尤其可以有利地用在具有较小的容量的净化室设备中用于转移大而重的运输容器（1）。

主权项

具有底盘的净化室‑运输容器，·其中，在大气方面封闭的、用于基片（11）的运输容器（1）具有能够封闭的、端侧的装料口（3）并且通过装有轮子的、安放在行驶平面（11）上的底盘（6）能够移到用于相对工作站（8）的对接平面（13）对接的原始位置中；并且·其中，设置了接合装置（12），通过所述接合装置在所述原始位置中所述底盘（6）和由这个底盘支承的运输容器（1）作为工作单元在底盘侧在所述行驶平面（11）的附近并且在与所述对接平面相邻的情况下被抓住并且通过回转轴得到保持，其特征在于，·用于包括底盘（6）和运输容器（1）的工作单元（7）的回转轴作为旋转支撑机构（25）形成平放的支承轴；·所述底盘（6）和所述运输容器（1）关于所述支承轴彼此是位置固定；·所述接合装置（12）被驱动；并且·所述包括底盘（6）和运输容器（1）的工作单元（7）能够通过所述被驱动的接合装置（12）围绕所述支承轴偏转到相对于所述行驶平面（11）被抬起的、与相应的工作站（8）的连接位置中。