| 发明名称 | 弹性波装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种难以产生压电薄膜的破裂或缺损，并且难以产生特性的恶化的弹性波装置。弹性波装置(1)在支撑基板(2)上设置多层膜(3)，多层膜(3)包含：压电薄膜(6)、和压电薄膜(6)以外的层，设置被设置在压电薄膜(6)的一面的IDT电极(7)，具备与IDT电极(7)电连接的外部连接端子，俯视下，在设置有IDT电极(7)的区域的外侧的区域，多层膜(3)被局部除去，在多层膜(3)被除去的区域的至少一部分，还具备设置在支撑基板(2)上的第1绝缘层(10、11)。 | ||
| 申请公布号 | CN105794108A | 申请公布日期 | 2016.07.20 |
| 申请号 | CN201480066263.0 | 申请日期 | 2014.12.18 |
| 申请人 | 株式会社村田制作所 | 发明人 | 菊知拓;西条慎;山崎央;福岛正宏;三轮祐司 |
| 分类号 | H03H9/145(2006.01)I;H03H9/25(2006.01)I | 主分类号 | H03H9/145(2006.01)I |
| 代理机构 | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人 | 李逸雪 |
| 主权项 | 一种弹性波装置，具备：支撑基板；多层膜，其被设置在所述支撑基板上，包含压电薄膜和所述压电薄膜以外的层；IDT电极，其被设置在所述压电薄膜的一面；和外部连接端子，其与所述IDT电极电连接，俯视下，在设置有所述IDT电极的区域的外侧的区域，所述多层膜被局部除去，在所述多层膜被除去的区域的至少一部分，还具备设置在所述支撑基板上的第1绝缘层。 | ||
| 地址 | 日本京都府 | ||