| 发明名称 | Ag合金膜及Ag合金膜形成用溅射靶 | ||
| 摘要 | 该Ag合金膜含有0.1质量％以上且1.5质量％以下的In、1质量ppm以上且50质量ppm以下的Cu，剩余部分由Ag及不可避免的杂质构成。该溅射靶含有0.1质量％以上且1.5质量％以下的In、1质量ppm以上且50质量ppm以下的Cu，剩余部分由Ag及不可避免的杂质构成，且氧浓度小于50质量ppm，溅射面的面积为0.25m<sup>2</sup>以上，Cu的面内浓度分布D<sub>Cu</sub>(＝(σ<sub>Cu</sub>/μ<sub>Cu</sub>)×100)为40％以下。 | ||
| 申请公布号 | CN105793449A | 申请公布日期 | 2016.07.20 |
| 申请号 | CN201580002653.6 | 申请日期 | 2015.03.18 |
| 申请人 | 三菱综合材料株式会社 | 发明人 | 野中庄平;小见山昌三;岁森悠人 |
| 分类号 | C22C5/06(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I;H01B1/02(2006.01)I;H01B5/02(2006.01)I | 主分类号 | C22C5/06(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人 | 康泉;王珍仙 |
| 主权项 | 一种Ag合金膜，其特征在于，具有如下组成：含有0.1质量％以上且1.5质量％以下的In、1质量ppm以上且50质量ppm以下的Cu，剩余部分由Ag及不可避免的杂质构成。 | ||
| 地址 | 日本东京 | ||