| 摘要 |
본 발명은 진공 흡착장치용 진공펌프에 관한 것이다. 더욱 상세하게는 유리, 웨이퍼와 같은 패널이 진공 흡착장치에 흡착될 수 있도록 균일한 진공압을 제공하며, 패널을 포함하는 공작물의 크기 및 두께에 따라 진공압을 조절하여 공작물의 변형을 방지함은 물론, 이 공작물의 세팅이 용이하게 이루어질 수 있도록 하는 진공 흡착장치용 진공펌프에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기, 절삭유 및 칩이 유입 및 배출되는 배출패널; 상기 배출패널의 상부에 구성되며, 진공 흡착장치의 내부에 잔류하는 공기를 흡입하여 진공상태로 변환하며, 상기 진공 흡입장치의 내부 진공압을 일정하게 유지할 수 있도록 상기 진공압을 조절하는 진공 발생부; 상기 배출패널과 상기 진공 발생부가 일체로 구성될 수 있도록 체결수단에 의해 상기 배출패널 및 상기 진공 발생부와 결합되는 지지 플레이트; 및 상기 진공 발생부의 상부에 결합되어 구동 여부를 제어하며, 상기 진공 발생부로부터 발생되는 진공압을 표시하는 진공압 게이지와, 상기 진공압이 일정하게 유지될 수 있도록 제어하는 조작 플레이트를 포함하는 것을 특징으로 한다. |
