一种减压加热干燥装置

摘要

本发明公开了一种减压加热干燥装置，所述减压加热干燥装置包括：腔室、承载机构、加热机构、减压机构、气压调节机构；所述承载机构以及所述加热机构设置于所述腔室内；所述减压机构以及所述气压调节机构分别与所述腔室联通；其中，所述腔室用于覆盖基板的周围；所述承载机构用于在基板的主面朝上的状态下承载所述基板，所述加热机构用于对所述基板进行加热；所述减压机构用于在所述加热机构对所述基板加热时，对所述腔室的内部进行减压；所述气压调节机构用于在所述腔体内的压强以及所述基板的温度满足预设要求时，调节所述腔室内的压强，以平衡所述腔室内外的压强。通过上述方式，本发明能够有效加快干燥过程，缩短生产流程，节约生产成本。

主权项

一种减压加热干燥装置，其特征在于，所述减压加热干燥装置包括：腔室、承载机构、加热机构、减压机构、气压调节机构；所述承载机构以及所述加热机构设置于所述腔室内；所述减压机构以及所述气压调节机构分别与所述腔室联通；其中，所述腔室用于覆盖基板的周围；所述承载机构用于在基板的主面朝上的状态下承载所述基板，所述加热机构用于对所述基板进行加热；所述减压机构用于在所述加热机构对所述基板加热时，对所述腔室的内部进行减压；所述气压调节机构用于在所述腔体内的压强以及所述基板的温度满足预设要求时，调节所述腔室内的压强，以平衡所述腔室内外的压强。