一种MEMS加速度传感器及其制造方法

摘要

本发明提供一种MEMS加速度传感器及其制造方法，涉及半导体技术领域。该加速度传感器包括质量块、设置于所述质量块的第一组对边上的用于在第一方向上固定所述质量块的第一弹簧以及设置于所述质量块的第二组对边上的齿形结构、设置于所述质量块的所述第二组对边的用于在第二方向上固定所述质量块的第二弹簧，其中所述第二方向垂直于所述第一方向。本发明的MEMS加速度传感器，通过在质量块上增加设置作为第二弹簧的S型弹簧，可以使加速度传感器的灵敏度不受其他方向上的加速度的影响，使加速度传感器的方向侦测性提高。本发明的MEMS加速度传感器的制造方法用于制造上述的加速度传感器，制得的加速度传感器同样具有上述优点。

主权项

一种MEMS加速度传感器，其特征在于，包括:质量块；设置于所述质量块的第一组对边上的用于在第一方向上固定所述质量块的第一弹簧，其中所述第一弹簧为框型弹簧；设置于所述质量块的第二组对边上的齿形结构；设置于所述质量块的第二组对边的两侧且与所述齿形结构相对应的检测电极；设置于所述质量块的所述第二组对边的用于在第二方向上固定所述质量块的第二弹簧，其中所述第二弹簧为S型弹簧，所述第二方向垂直于所述第一方向。