| 摘要 |
본 발명은, 실리콘단결정 성장 과정에 있어서의 로 내부 카본 부품의 열화 방지와, 성장 결정 속의 탄소 농도 저감, 단결정의 폴리화(poly)하는 비율의 개선을 도모하는 것이며, 또한, 로의 개방 시에, 로 내부 부품이나, 소결금속재료 또는 반도체용 원료 결정에 수분이 흡착되는 것에 의한, 로의 경시변화나, 결정의 유전위화 등의 문제 해결을 달성하는 것을 목적으로 한다. 그 해결수단으로서, 소결금속재료를 충전한 형틀, 또는, 반도체용 결정성장을 실시하기 위한 원재료를 충전한 도가니의 개구부를, 공급관 및 진공배기관을 구비한 캡으로 폐쇄하고, 상기 진공배기관을 개재하여 상기 형틀 또는 상기 도가니의 내부를 진공배기해서 10토르(torr) 이하의 고진공 상태로 하는 진공배기공정과, 상기 공급관을 개재하여 상기 형틀 또는 상기 도가니의 내부에 50℃이상 200℃이하의 고온불활성가스를 충전하고, 상기 원재료를 승온하여, 건조시키는 승온건조공정을 가지며, 상기 캡을 씌운 상태의 상기 형틀 또는 상기 도가니의 내부에서 상기 원재료를 보관하는 것을 특징으로 한다. |
