玻璃基板用蚀刻装置

摘要

本发明涉及一种玻璃基板用蚀刻装置，尤其涉及一种摆式传感器的传感器设在蚀刻装置处理室的外部表面，从而防止在蚀刻工程中产生的污泥等异物蓄积在摆式传感器的传感器部位，降低摆式传感器的故障发生率，由于在移送夹具的夹具搬送齿轮的锯齿齿轮之间设有高度较低的搬送面，并且夹具插进该凹陷的搬送面进行移送，因此无需用于防止夹具下端部脱离的导向辊的玻璃基板用蚀刻装置。

主权项

一种玻璃基板用蚀刻装置，作为用于蚀刻玻璃基板表面的蚀刻装置，其特征在于，上述蚀刻装置包括：一处理室；一闸门，朝上述处理室内部投进装载着玻璃基板的夹具；一移送件，将投进上述处理室内部的夹具进行移送，上述移送件包括：多个惰轮，其分别由锯齿构成，并且整体上位于一直线并以地面为准位于相同高度；多个夹具搬送齿轮，其锯齿与上述各个惰轮相啮合，并且位于比上述惰轮上方的位置，整体上位于一直线并以地面为准位于相同高度，上述惰轮或上述夹具搬送齿轮中任意一个与驱动马达相连，而通过驱动马达的驱动力进行驱动，在上述夹具搬送齿轮的锯齿之间设有比锯齿部分高度低并且平坦、凹陷而成的搬送面，上述夹具沿着上述搬送面进行移送。