一种光波导晶圆表面检测装置

摘要

本发明涉及晶圆表面检测技术领域，公开了一种光波导晶圆表面检测装置，包括可沿水平面多方向运动的多方向运动平台、激光共聚焦扫描测头与固定支架，本发明设置激光共聚焦扫描测头，可通过直接扫描待检测晶圆，测量翘曲率等数据并计算得到晶圆表面的残余应力数据，而待检测晶圆表面的沟槽等结构特征可直接扫描获得；本发明可同时对晶圆表面残余应力和沟槽等特征检测，避免转送至不同机台进行多次检测，大大减少了晶圆表面检测次数，检测效率和精度均较高，操作便捷快速；而且，多方向运动平台的设置可使待检测晶圆多方向运动，大大便于激光共聚焦扫描测头的全面扫描检测，可降低操作人员劳动强度，同时也减少检测所需时间，大大提高工作效率。

主权项

一种光波导晶圆表面检测装置，其特征在于，包括可沿水平面多方向运动的多方向运动平台、激光共聚焦扫描测头与固定支架，所述激光共聚焦扫描测头设置在所述固定支架上，待检测晶圆置于所述多方向运动平台上，且所述激光共聚焦扫描测头位于所述待检测晶圆上方，所述多方向运动平台带动所述待检测晶圆多方向运动，使所述激光共聚焦扫描测头对所述待检测晶圆不同位置扫描检测。