一种制备超薄有机硅膜的方法

摘要

本发明属于膜材料制备领域，特别涉及一种超薄有机硅膜的制备方法。本发明针对当前硅膜制备过程中常用的浸渍提拉涂膜法存在的“膜厚度较大、通量较小、成膜率低、过程难以调控”等问题，提供一种较为简单的超薄有机硅膜的制备方法，采用热涂法擦涂低浓度的有机硅溶胶，涂膜之后直接进行快速煅烧，制备出厚度<100nm的超薄并且完整的有机硅分离膜。

主权项

一种超薄有机硅膜的制备方法，其特征在于：所述的制备方法为，采用热涂法擦涂低浓度的有机硅溶胶，涂膜之后直接进行快速煅烧，制备出超薄有机硅膜。